硅芯质量的影响因素探析

作者：杨凡; 马维庆; 刘禹劭; 乔亮; 李星月

来源：山西冶金, 2023, 46(04): 79-80.

DOI：10.16525/j.cnki.cn14-1167/tf.2023.04.031

• 多晶硅
• 硅芯
• 硅芯质量

硅芯作为多晶硅生产过程中的基底材料，硅芯杂质含量居高不下导致多晶硅成品质量低下，为解决该问题，从硅芯制备各环节入手研究，对可能造成硅芯质量下降的各因素进行分析，并针对各因素制定对应的控制措施，以推动电子级、区熔级多晶硅的国产化生产。

• 单位
  陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司