国内外光刻胶发展及应用探讨

作者：崔杰; 翟博涛

来源：新材料产业, 2021, (05): 33-35.

DOI：10.19599/j.issn.1008-892x.2021.05.008

<正>光刻胶是由感光树脂、增感剂和溶剂为主要成分的一种对光特别敏感的混合液体,别名为"光致抗蚀剂"。光刻胶对光非常敏感,透过光线,其化学特性就会发生变化,因此把光刻胶涂敷在硅基片上,再经过曝光、显影、刻蚀等工艺,就可以将设计好的图形复刻到硅基片上,因此光刻胶成为了光电信息产业中图形复刻加工技术中的关键性材料,在其行业内得到了广泛的应用。