电机位置测量是伺服控制的关键技术。在分析二维运动机构光栅尺输出信号的基础上,设计DSP对光栅尺信号进行接收和数据处理,并确定采样周期,在PID算法的基础上提出二维运动机构超声波电机的运动控制方案,从而实现了二维运动机构的高精度、高响应控制。