声表面波谐振器设计与仿真

作者：李秋良; 董志贵

来源：信息记录材料, 2020, 21(03): 161-162.

DOI：10.16009/j.cnki.cn13-1295/tq.2020.03.096

• 声表面波
• 谐振器
• Cu电极
• Sc Al N薄膜

综合声表面波谐振器设计的研究方法与思路,给出体声波和声表面波的划分方法,介绍了声表面波的机电耦合系数、压电薄膜基片的厚度与波长对声表面波性能的影响关系式,仿真了Cu电极ScAlN薄膜基片谐振器机电耦合系数与薄膜厚度的关系。

• 单位
  辽宁科技学院