本发明公开了一种基于硅/氟化石墨烯的双工作模式宽波段光电探测器及其制备方法,其是通过合理设计器件结构,使氟化石墨烯与平面硅形成异质结,并使器件可工作于光电导和光电二极管双模式。本发明利用宽光谱吸收材料氟化石墨烯,弥补了硅基器件对于红外和紫外响应的不足,使探测器具有更宽的光谱响应范围；且器件制备过程简单,与现有的半导体工艺有很好的兼容性,器件性能优越,两种工作模式可以实现优势互补。
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