GC-MS测定高纯氪、氙中的痕量氟化物

作者：于瑞祥; 高艳秋; 董翊; 姜阳; 任逸尘; 魏王慧

来源：上海计量测试, 2019, 46(03): 23-25.

• 气相色谱质谱联用
• 高纯氪
• 高纯氙
• 四氟化碳
• 六氟乙烷
• 八氟丙烷
• 检测

建立了气相色谱质谱联用法测定高纯氪及高纯氙中的四氟化碳、六氟乙烷和八氟丙烷的方法。采用选择性离子监测(SIM)模式,以m/z 69作为四氟化碳、六氟乙烷和八氟丙烷的定量离子,在0.1～50μmol/mol的浓度线性范围内,待测物体积分数与响应值呈良好的线性关系(R2≥0.999),四氟化碳、六氟乙烷和八氟丙烷的检出限均低于0.01μmol/mol。方法处理简单,检测时间短,具有良好的准确度和精密度。

• 单位
  上海市计量测试技术研究院