深振荡磁控溅射制备柔性硬质纳米涂层的研究进展

作者：王浩琦; 周茜; 孙丽; 欧伊翔; 金小越; 张旭; 华青松; 庞盼; 罗军; 陈琳; 廖斌; 欧阳晓平; 鲍曼雨

来源：稀有金属材料与工程, 2021, 50(08): 2993-3002.

• 深振荡磁控溅射
• 高功率脉冲磁控溅射
• 柔性硬质涂层
• 摩擦磨损

柔性硬质纳米涂层具有高致密性、高表面完整性、高硬度、高韧性和高裂纹抵抗力特性,是新一代高性能纳米涂层的一个重要发展方向,但其制备难度高,难以利用传统涂层制备技术实现。深振荡磁控溅射(deeposcillation magnetron sputtering, DOMS)技术是一种新型的高功率脉冲磁控溅射技术,现已成为国际涂层研究领域的热点。DOMS技术通过一系列调制的电压微脉冲振荡波形,能够实现完全消除电弧放电和靶材近全离化,获得高密度、低离子能量和高束流密度的等离子体,能制备出具有低缺陷、高表面完整性、高致密性的高性能纳米涂层,并且对纳米涂层的成分、结构和性能实现"剪裁化"的可控制备。本文综述了柔性硬质纳米涂层的特征以及DOMS制备柔性硬质纳米涂层的最新进展。

• 单位
  北京师范大学; 北京市辐射中心; 长治医学院