溶胶凝胶法制备钼掺杂氧化锌薄膜及性质研究(英文)

作者：邵景珍; 董伟伟; 陶汝华; 邓赞红; 周曙; 方晓东

来源：量子电子学报, 2011, (02): 247-252.

• 材料
• 光电特性
• 溶胶凝胶法
• 钼掺杂氧化锌
• 透明导电氧化物

利用溶胶凝胶法在Al2O3衬底上制备出了c轴择优取向的钼掺杂氧化锌（MZO）透明导电薄膜,研究了,钼的掺杂量（0～1 at%）对钼掺杂氧化锌薄膜光电性能的影响。研究结果表明:所制备的薄膜为六方纤锌矿型结构且表面平整、致密。通过高温真空退火,MZO薄膜的电阻率明显降低。且随着钼含量的增加,MZO薄膜的电阻率呈现出先减小后增大的趋势,当钼含量为0.4at%时,获得最小电阻率为0.13Ωcm。薄膜在近红外区域（800～2000 nm）的平均透过率大于85%,这可以有效地拓宽光电器件的光谱范围。

• 单位
  中国科学院安徽光学精密机械研究所; 中国科学院，安徽光学精密机械研究所