压电陶瓷执行器半实物仿真系统研究

作者：郭嘉亮; 徐立松; 闫丰

来源：现代电子技术, 2013, (13): 138-141.

DOI：10.16652/j.issn.1004-373x.2013.13.013

• 实时仿真
• xPC Target
• S-Function Builder
• 压电陶瓷 real-time simulation
• piezoceramic

为了在压电陶瓷执行器微动控制中获得高精度的同时,实现高响应速度,采用三阶轨迹规划方法设计控制算法。为了对控制算法的性能做出准确评价,采用xPC Target实时内核技术,以高速模拟信号采集卡作为控制/反馈信号的I/O通道,搭建了半实物仿真平台,获得了毫秒量级的伺服周期。实验表明,当伺服周期为1 ms、定位行程为200μm时,三阶轨迹规划算法使压电陶瓷执行器可以在0.5 s内完成精度为±1μm的定位,实现了兼顾高精度与高速度的微动控制。该半实物仿真系统可以有效验证控制算法的性能,为算法的后续移植提供了有益参考。

• 单位
  应用光学国家重点实验室; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所