系统工程方法在国内外以航空航天、国防科技和船舶工程等为代表的复杂设备系统的研发中发挥了重要作用。针对以光刻机为代表的先进半导体装备的研发，发展和提升以正向设计引领、以系统工程方法为指导的自主创新和设计制造一体化能力显得尤其重要。从系统工程的起源着手，介绍了系统工程的常见方法，并以半导体装备领域的应用为背景重点介绍了系统工程的工具链和基于模型的系统工程（MBSE）的部分关键技术。最后对系统工程方法，特别是对MBSE方法在我国半导体装备行业中的应用前景作了展望。
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