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摘要
多自由度跨尺度精密位移驱动平台在光学计量检测、半导体制造、生物医学工程等诸多领域具有广泛的应用需求。针对串联多自由度压电驱动平台结构厚重的问题，结合压电柔性铰链机构和冲击驱动原理，研制了一款结构紧凑的二维并联跨尺度压电精密位移驱动平台。通过有限元仿真和实验测试验证其性能，结果表明：压电柔性铰链定子的静态位移为7.95μm，固有频率为11.80 kHz。低频步进位移和高频平滑运动测试表明：原理样机的步进位移分辨力为100 nm，平滑运动速度为4.96 mm/s，负载力达到100 mN以上。原理样机基本满足多自由度跨尺度精密位移驱动的技术要求，在微纳光学检测等系统中具有良好的应用价值。
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