激光/长波红外双谱段减反射薄膜设计与制备

作者：李子杨; 刘华松^*; 孙鹏; 杨霄; 白金林; 徐颖; 杨仕琪; 季一勤; 苏建忠

来源：红外与激光工程, 2022, 51(03): 418-424.

• 光学薄膜
• 双谱段减反射
• 膜系设计
• 热蒸发离子束辅助沉积

在氟化钡光学元件上设计并制备多谱段减反射薄膜是提升光电系统探测性能的关键。在氟化钡基底上设计并制备了1 064 nm激光/长波红外双谱段减反射薄膜。基于周期对称结构膜系导纳计算方法，以及拟合膜层周期数与参考波长的优化算法，开展了复合谱段减反射薄膜初始膜系的设计方法研究。使用热蒸发离子束辅助沉积方法制备了多层减反射薄膜。测试结果表明，该薄膜在1 064 nm处透射率为94.0%，在8～12μm长波红外谱段平均透射率为96.3%，在8.2μm处的透射率高达99.4%。该激光/长波红外双谱段减反射薄膜具有良好的光学性能，可以应用于多模复合精确探测光电装备之中，对于提升探测系统的工作性能具有重大意义。

• 单位
  天津津航技术物理研究所