摘要
电子轰击有源像素传感器(EBAPS)是一种利用真空技术将光阴极、电子敏感APS芯片和基座封装而成的真空-固体混合型微光器件。积分灵敏度是其重要性能参数之一,目前国内缺乏相应的测试手段。为此,本文根据EBAPS的工作原理,基于微光像增强器的光谱响应测试方法,采用数字-电子转换因子和输出信号得到的电子数进行结果表征,设计了EBPAS的光谱响应测试系统。利用该系统获得了EBAPS器件在-800V工作电压下的光谱响应曲线,器件积分灵敏度达3.2×108e-/(s*lm),重复度为0.65%。
-
单位微光夜视技术重点实验室; 南京理工大学