利用激光跟踪仪测量超长导轨直线度的方法

作者：王孝坤

来源：应用光学, 2013, (04): 686-689.

• 光学检测
• 直线度
• 激光跟踪仪
• 超长导轨 optical detection
• linearity error
• laser tracker
• long guideway

在简要分析和对比各种检测导轨直线度方法的基础上,提出利用激光跟踪仪测量超长导轨直线度的方法,对该方法的基本原理和实现步骤进行了分析和研究。结合工程实例,对一数控机床的20m超长导轨进行了直线度测量,得到其2个方向上的直线度分别为27μm和25μm。该方法拓宽了激光跟踪仪的现有功能,能精确快速地完成对超长导轨直线度的检测,并可以实现对超长导轨2个方向直线度的分离,测量导轨的长度可达到70m,检测精度为0.4μm/m。

• 单位
  中国科学院; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所