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摘要
偏振和位相调控分光膜是自由空间量子通信系统中不可缺少的光学元件，其性能直接影响通信质量，决定通信误码率。基于等效层设计理论，采用“介质+金属+介质”的特殊膜系结构，选用Ag金属和SiO2、Al2O3、Ta2O5三种介质膜料作为镀膜材料，实现石英衬底45°入射时，1 500～1 600 nm波段消偏振平均透射/反射比为8.5:91.5，在1 530、1 540、1 550、1 560 nm控制位相的分光膜。采用电子束蒸发离子辅助沉积技术，优化沉积工艺，制备了分光膜样品。检测结果表明：在45°入射条件下，1 500～1 600 nm波段光谱平均透射/反射比为8.53:91.47，在1 530、1 540、1 550、1 560 nm处透射光位相差控制在5.02°以内，反射光位相差控制在8.05°以内，满足通信系统分光比及位相控制的要求。此外，该分光膜通过了相应的环境试验测试，满足可靠性要求。
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