MEMS变形镜技术发展探讨

作者：邵健; 李琦; 冯楚桓; 李威; 张欣峰; 余洪斌

来源：海峡科技与产业, 2018, (06): 14-20.

• 自适应光学
• 变形镜
• 氮化铝(AIN)
• CMOS兼容性
• 线性驱动

变形镜作为自适应光学系统中的波前矫正器,现已被广泛运用到天文学、视网膜成像、光束整形等领域中。相较于传统的变形镜技术,MEMS变形镜以其在制备工艺、器件体积及功耗、产品成本等方面具有明显优势而广受关注。文中对现有MEMS变形镜所采用的驱动方式进行系统阐述并对它们各自的优缺点进行对比分析。在此基础上,提出了一种全新的基于氮化铝(AlN)压电薄膜的分立式MEMS变形镜设计。相较于静电驱动变形镜,其具有线性控制的优势。同传统基于PZT、PMN材料的压电变形镜相比,该变形镜表现出与CMOS工艺相兼容,制备工艺简单且环保的特点,因而具有潜在的应用优势。

• 单位
  光学与电子信息学院; 华中科技大学