高频光电导法测量硅晶体载流子寿命的深度分析

作者：王昕; 田蕾; 李俊生; 叶灿明; 王世进^*

来源：仪器仪表用户, 2019, 26(08): 18-44.

• 直流光电导法
• 高频光电导法
• 注入比
• 少数载流子寿命
• 载流子复合寿命

高频光电导测量硅单晶寿命的方法在国内半导体材料行业广泛使用,经过长期的实践积累了丰富的经验。本文试图就方法原理、仪器性能要求、测试结果的处理以及如何提高测量的重复性进行了深入分析。

• 单位
  广州市昆德科技有限公司