本实用新型公开了一种小功率集成微波微等离子体源,包括锁相环频率合成器；可调衰减器,与锁相环频率合成器连接；宽带功率放大器,与可调衰减器连接；环形器,与宽带功率放大器连接；平面微带渐变螺旋电感耦合线圈,与环行器连接。工作时小功率微波输入到平面微带渐变螺旋电感耦合线圈而激励起微波微等离子体。本实用新型具有频率可调、功率可调、功率源保护以及小型便携等优点。
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