摘要
在单点激光测振仪的设计中,通常采用扩束聚焦的方法,将氦氖激光器发出的激光照射到物体表面,再收集从物体表面反射回来的漫反射光,经外差干涉、多普勒解算,达到测量物体表面振动的目的。针对该扩束聚焦物镜的设计。本文采用 Zemax 对该系统进行了分析设计。首先对高斯氦氖激光光源进行了模拟,然后在此前提下计算了系统的初始结构。进一步分析了前透镜移动距离与激光聚焦距离的关系,获得了不同聚焦距离下的光斑尺寸。最后设计了该可调扩束聚焦系统的机械结构。该结构具有调节平滑,前透镜不旋转的特点。减小了由于旋转透镜带来的误差。
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单位应用光学国家重点实验室; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所