晶圆在静电卡盘上位置出现偏移的原因及改善方法

作者：朱亮; 柳小敏

来源：中国集成电路, 2021, 30(12): 54-57.

• 物理气相沉积
• 静电卡盘
• 位置偏移

静电卡盘被广泛用作物理气相沉积晶圆承载台。静电卡盘可利用静电吸力将晶圆固定在静电卡盘上防止晶圆在工艺过程中出现位置偏移。在机台实际生产过程中,机台时常出现因晶圆位置偏移过大导致晶圆传送报警。实验表明:通过延长晶圆静电释放时长,减小3根晶圆顶针的高度差和降低晶圆与3根顶针的接触速度,对因静电释放不完全造成的晶圆位置偏移问题有明显的改善。