微结构工件在磨削加工过程中产生的残余应力将导致工件变形,表面机理受到破坏,严重影响了工件的工作性能和加工精度。该文采用实验与回归法相结合推导了超硬材料SIC的磨削力公式,提出了V形槽结构磨削加工有限元建模方法。总结出V形槽结构磨削加工残余应力的分布规律,以及磨削用量参数对残余应力大小的影响,为磨削过程中参数选取、残余应力分析提供参考。
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