作为真空计量关键器件，真空流导元件在真空检漏及相关测量领域中发挥着重要的作用。在众多类型的流导元件中，分子流流导元件因其流导特性受到广泛的关注。概述了几种极小流导分子流真空流导元件的研究进展，包括阳极氧化多孔氧化铝、硅基微纳通道以及石墨烯分子流流导元件，介绍了它们的制作工艺及流导测试结果，各种极小流导真空流导元件的分子流压力上限均为10～5Pa量级。极小流导的分子流真空流导元件可应用于非蒸散型吸气剂性能测试、真空泵抽速测试、真空室体积及密闭容器漏率测量。
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