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摘要
针对微机电系统(MEMS)压力传感器灵敏度及线性度较难兼顾的问题，设计了一种可应用于电子血压计量程为40 kPa的MEMS压力传感器。首先基于硅压阻式MEMS压力传感器的工作原理，使用COMSOL Mutilphysics软件对传感器结构进行仿真设计，根据理论计算各结构尺寸，得到可获得最高输出灵敏度以及最小非线性的电阻位置，并设计传感器掩模版图。同时设计了传感器芯片工艺制备流程，完成了高灵敏度压力传感器芯片的制作，并对最终成品性能进行了研究分析。实验结果表明：通过对压力传感器结构优化，研制出的40 kPa硅压阻式MEMS压力传感器在常温下的灵敏度达到0.445 mV·V-1·kPa-1,非线性度达到±0.073 6%FS。
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单位无锡中微晶园电子有限公司
