高温陶瓷薄膜热流传感器动态响应有限元分析

作者：张梅菊; 郭怡雪; 黄漫国; 杜子睿; 康志鹏; 张丛春

来源：测控技术, 2023, 42(11): 1-39.

DOI：10.19708/j.ckjs.2023.02.217

• 高温
• 薄膜热流传感器
• ITO/In2O3热电堆
• 有限元分析
• 动态响应

航空、航天等领域的高速发展对精密热流测量技术提出了更严苛的挑战。ITO/In2O3陶瓷材料相比贵金属材料有着更高的塞贝克系数，并拥有低密度和优异的高温力学性能。基于有限元仿真方法，建立了ITO/In2O3热电堆型薄膜热流传感器热电学仿真模型，设计了2种薄膜热流传感器结构，综合分析了热电堆在不同的热阻层分布、热阻层厚度和热流密度下的传热性能和输出动态响应变化，提出了ITO/In2O3薄膜热流传感器的优化设计方案。

• 单位
  上海交通大学