科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
微纳制造技术的快速发展推动着微电子机械系统(MEMS)的设计逐渐转向微型化、智能化和集成化。由于微构件尺寸减小、表面效应增强，粘着、纳米摩擦和磨损等问题严重影响着MEMS的可靠性和耐久性。因为微纳系统活动构件的间隙处于纳米量级，常规的液体润滑剂将导致摩擦副表面产生很大的粘滞力和剪切力，所以液体润滑剂不再适用于微纳系统。因此，通过表面改性，在微纳器件表面涂覆/沉积具有良好力学性能及化学稳定性的薄膜，成为提高微构件系统稳定性的有效手段。石墨烯具有优异的力学性能和结构刚性，同时具有低摩擦以及良好的化学稳定性，有望作为纳米润滑材料构筑石墨烯纳米润滑薄膜及石墨烯基纳米复合润滑薄膜，减小微纳尺度下接触表面的粘着、摩擦和磨损，提高MEMS的耐久性和稳定性。目前，在石墨烯和石墨烯基润滑薄膜的制备及其微纳摩擦学性能方面已取得了许多重要的研究结果。本文对近年来石墨烯纳米润滑薄膜和石墨烯基纳米复合润滑薄膜的制备进行了系统的梳理，并对其微纳摩擦学性能进行了总结和分析，提出了石墨烯基纳米复合薄膜作为润滑薄膜仍需解决的关键问题，并对石墨烯基纳米复合薄膜的发展趋势进行了展望。
- 单位
