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摘要
本发明公开了一种短波红外多通道集成光谱组件,它包括：高长宽比InGaAs线列光敏芯片、读出电路、过渡电极板、测温电阻、半导体致冷器、多通道数字式分光器、窗口、金属管壳与盖板。多通道数字式分光器作为微型光谱仪的分光元件,通过边缘金属化焊接直接固定在高长宽比InGaAs线列光敏芯片上,集成在探测器组件内部。本发明优点是：InGaAs线列光敏芯片的光敏元为高长宽比结构,可提高光谱测试的信噪比；多通道数字式分光器可在单个基片上实现光谱的精细调控,并抑制各通道内的光谱噪声、通道间串音、通道外杂散光；在探测器组件实现多个光谱通道探测简化了微型光谱仪的结构,提高仪器的可靠性和稳定性,减轻仪器的重量。
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