二氧化钛薄膜是一种具有光、电特性的廉价的半导体材料,近年来受到研究人员的广泛关注,二氧化钛薄膜的这些特殊性能使其应用于诸多领域。不同的制备工艺可以得到性能不同的二氧化钛薄膜,使其适用于相关领域。简要叙述了二氧化钛薄膜的基本特性及应用,主要介绍了电化学法、溅射法、溶胶-凝胶法和水解沉淀法等二氧化钛薄膜制备工艺的原理、研究现状和优缺点,并根据各工艺的不足,指出了今后的发展趋势。
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