以改性聚乙烯醇为成膜树脂，制备了一种稀碱水显影的紫外负性光刻胶。将不饱和脂肪酸酐与聚乙烯醇进行酯化反应得到部分酯化的产物，将其与双叠氮化合物BAC-M一起溶于有机溶剂中，制成负性光刻胶。其成像原理与环化橡胶-双叠氮负胶类似，主要是通过曝光区叠氮基团的光解产物-氮卡宾与聚乙烯醇酯化物发生交联反应，曝光后不需后烘过程就可以实现显影成像。与环化橡胶体系用二甲苯类有机溶剂显影相比，该体系实现了稀碱水显影，曝光成像实验表明，该体系在分辨率、光敏性和耐湿法蚀刻方面表现出良好的性能。
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