影响微波等离子体炬法制备金刚石薄膜的参数

作者：黄芳亮

来源：河南科技, 2013, (05): 45+72.

• 微波等离子体炬
• 金刚石薄膜
• 距离

本文采用微波等离子体炬法制备了金刚石薄膜。并在一定的微波功率下,研究了Si基片到火炬喷嘴距离(L)对金刚石膜质量的影响,结果表明:距离L为6mm时沉积的金刚石薄膜的结晶性好、金刚石相纯度高。

• 单位
  西南科技大学