摘要

电容角位移编码器是一种通过机械角度的变化转化成电容量变化并给出相应电信号输出测量的装置。通过二维、三维有限元分析电容式角位移编码器的敏感元件在不同屏蔽条件和极板的间距下电势和电容的变化,通过分析电势和电容分布结果获得传感器的设计参数,得出传感器最优板间距和屏蔽方案。相关研究对电容角位移编码器的使用和研究具有重要意义。