基于氢气处理的氧化镓二极管开启电压降低方法

作者：郑雪峰; 岳少忠; 张翔宇; 洪悦华; 张方; 苑子健; 马晓华; 郝跃

来源：2022-07-21, 中国, CN202210864506.1.

本发明公开了一种基于氢气处理的氧化镓二极管开启电压降低方法,主要解决现有氧化镓二极管开启电压高的问题。其方案是：根据氢气易发生爆炸的浓度及氢原子在氧化镓材料中的扩散速度,选取氢气浓度为0.1％～4％和75.6％～100％；选取多只氧化镓二极管器件将其单层摆放固定在存储罐内的底部并密封,再往存储罐内充入所选的氢气,直到罐内压强达到0.1～3MPa；选取恒温箱设备,根据氢气的燃点温度设置其工作温度为20～350℃；将充有氢气且内部放有器件的存储罐放入恒温箱中,打开电源静置储存1～100天后关闭电源取出器件,实现对器件开启电压的降低。本发明有效降低了氧化镓二极管的开启电压,可应用于高频电力电子系统。

• 单位
  西安电子科技大学