微谐振梁的激振与拾振研究(英文)

作者：陈健; 陈德勇; 王军波; 杨苗苗; 毋正伟; 陈李

来源：传感技术学报, 2006, (06): 2432-2436.

• 微机械电子系统
• 微谐振梁
• 模态提取
• 同频干扰 MEMS
• resonant micro-beam
• selective mode excitation
• the same-frequency disturbance

主要研究静电激励/电容拾振硅微谐振梁的激振拾振问题,推导谐振梁的激振与响应的等效数学模型,分析谐振梁的同频干扰问题,建立其等效电路模型,提出一种基于双端激励/双端检测的结构,能够有效的抑制干扰模态和消除同频信号干扰.

• 单位
  中国科学院电子学研究所; 传感技术国家重点实验室