微纳加工技术在超微电极制备中的应用

作者：朱明智; 蒋庄德

来源：分析化学, 2006, (12): 1794-1800.

• 超微电极制备
• 微纳加工技术
• 单超微电极
• 超微电极阵列
• 评述 Ultramicroelectrodes fabrication
• micro/nanofabrication technologies
• single ultramicroelectrode
• array ultramicroelectrodes
• review

从电极材料、绝缘材料、薄膜的图形化等方面,评述了微纳加工技术在单超微电极和超微电极阵列制备中的应用。在单超微电极的制备中,随着微纳加工技术的引入,可以实现具有规则几何形状和微小电极尖端的单超微电极的重复性制备。

• 单位
  西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室; 中国工程物理研究院总体工程研究所; 西安交通大学