研制了一种压电陶瓷驱动的微步进机构,介绍了步进机构的工作原理,进行了可行性实验,测试了步进机构的步长和动态响应性能,给出了运动速度的近似公式。实验表明,该步进机构能够实现高速度、小步长(纳米至微米级)、大行程的步进运动。
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