摘要
本发明公开的一种三明治结构的介电弹性微流体液体透镜及制作方法,属于光学成像领域。本发明包括上方单元、微流体、下方单元;上方单元包括上方厚薄膜、上方柔性电极和上方介电弹性体;下方单元包括下方介电弹性体、下方柔性电极、下方厚薄膜、固定透明平板;在两层介电弹性体圆盘外围区域分别交错分布相互配合的凹槽和凸台,微流体充满两个介电弹性体的内部区域,形成三明治结构。本发明还公开一种三明治结构的介电弹性微流体液体透镜制作方法。由于介电弹性体具有变形量大的优点,使得其具有较大的变焦范围,而且通过介电弹性体的电驱动方式使该液体透镜具有较高的变焦速度和效率,本发明还具有体积小、结构紧凑、液体不易蒸发和外漏等优点。
- 单位