将Li-N双受主掺杂的ZnO薄膜生长于非掺杂的n型ZnO薄膜之上,形成ZnO:(Li,N)/ZnO的结构。通过I-V测试、C-V测试以及光响应测试证明了该结构中pn结的形成。文中结果为ZnO pn结形成提供了证据,可以为证明pn形成提供帮助。