图形化硅纳米线阵列的制备

作者：龚文莉; 万丽娟; **

来源：功能材料与器件学报, 2009, (06): 587-590.

• 硅纳米线
• 选择性生长
• 图形化 silicon nanowires
• selective formation
• patterning

本文主要研究了在常态(常温、常压等)条件下,利用金属催化化学腐蚀方法在硅片表面上大面积制备排列整齐、取向一致的硅纳米线阵列。同时,出于对后续制作硅纳米线传感器考虑,利用微电子标准加工工艺,以氮化硅做掩膜,通过选择合适的实验参数,在硅片表面选择性生长纳米线阵列,得到图形化的硅纳米线阵列。

• 单位
  传感技术国家重点实验室; 华东师范大学