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摘要
本文利用亚波长硅圆柱组成的超表面设计了用于太赫兹探测器的聚焦透镜，通过改变硅柱的直径，实现对太赫兹波传输相位0～2π的调控。在1 THz频率下，所设计的单面超表面透镜，太赫兹波电场能量密度提升到入射平面波的32倍。基于工艺制备可行性和抗反射考虑，提出了一种双面超表面透镜，将电场能量密度提升到入射平面波的44倍。对比于传统超半球太赫兹硅透镜，超表面透镜具有厚度薄，体积小的优点，有利于太赫兹探测器组件的小型化，为实现与太赫兹探测器的集成提供了可能性。
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本文利用亚波长硅圆柱组成的超表面设计了用于太赫兹探测器的聚焦透镜，通过改变硅柱的直径，实现对太赫兹波传输相位0～2π的调控。在1 THz频率下，所设计的单面超表面透镜，太赫兹波电场能量密度提升到入射平面波的32倍。基于工艺制备可行性和抗反射考虑，提出了一种双面超表面透镜，将电场能量密度提升到入射平面波的44倍。对比于传统超半球太赫兹硅透镜，超表面透镜具有厚度薄，体积小的优点，有利于太赫兹探测器组件的小型化，为实现与太赫兹探测器的集成提供了可能性。
