高结温SiC陶瓷封装硅堆的工艺研究

作者：伍志雄

来源：科学技术创新, 2018, (28): 174-175.

• 高结温
• 硅堆
• SiC
• 陶瓷封装

以研制SC2CL2A/8KV SiC型陶瓷封装硅堆的研制为例,阐述了高结温SiC陶瓷封装硅堆的工艺研究,并对封装成型的硅堆产品特性加以验证。

• 单位
  西安卫光科技有限公司