半导体氢传感器工作温度特性

作者：刘丹峰; 周海燕; 文勇

来源：传感器与微系统, 2018, 37(11): 60-62.

DOI：10.13873/j.1000-9787(2018)11-0060-03

• 半导体氢传感器
• 气敏材料
• 温度

半导体氢传感器的气敏材料在工作过程中需要较高的工作温度,工作温度的不同对测量精度和响应时间也有一定的影响。采用以掺杂贵金属的Sn O2为气敏材料的氢传感器,考察其在不同温度下对不同浓度氢气的测量情况,研究氢传感器的工作温度特性。

• 单位
  中国工程物理研究院总体工程研究所