摘要
GeTe相变射频(Radio Frequency,RF)开关作为一门新兴的射频开关技术,一经提出便迅速成为研究热点.该开关利用GeTe相变材料热致相变特性,实现晶态低电阻和非晶态高电阻之间的相互转换,具有低插损、高截止频率、低功耗、非易失、易集成等特点,在5G、毫米波以及未来的6G无线通信中具有巨大的应用价值.本文系统阐述了GeTe相变射频开关的工作原理、结构与工艺的进展、重要性能指标的优化以及应用现状,指出了其在未来的发展方向和应用前景,以期对后续GeTe相变射频开关的研究提供有益的参考.
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