pH值对溶胶-凝胶法制备的掺铝氧化锌薄膜光电性能的影响

作者：刘凯; 赵小如; 赵亮; 姜亚军; 南瑞华; 魏炳波

来源：人工晶体学报, 2009, (03): 585-590+596.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2009.03.049

• 溶胶-凝胶法
• 透明导电薄膜
• 氧化锌
• 铝掺杂 sol-gel
• transparent conducting thin film
• ZnO
• Al-doped

采用溶胶-凝胶法在普通载玻片上制备出c轴择优取向的ZnO∶Al(ZAO)透明导电薄膜,研究了溶胶pH值对其结构、表面形貌、电学和光学性能的影响。结果表明:随着pH值的降低晶粒尺寸增大;当溶胶pH值从8.4降低到6.8时,薄膜的电阻率先降低而后略有升高,当pH值为7.2时其电阻率达到最小值2.6×10-3Ω.cm,进一步分析表明,溶胶pH值的变化影响了薄膜晶界散射,而后者又使载流子迁移率发生了变化;薄膜的透光率在可见光部分随着pH值的降低而升高,而禁带宽度则从3.36 eV降到3.32 eV。

• 单位
  西北工业大学; 材料学院; 凝固技术国家重点实验室