简要介绍了纳米压印技术的原理及应用，阐述了热纳米压印、紫外纳米压印、微接触压印等纳米压印工艺，分析了每种工艺的特点及优势；同时总结了纳米压印设备的3个关键技术，重点分析了精密对准调平技术、压力控制技术和模板分离技术。
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