Pb_xSr_(1-x)TiO_3陶瓷及薄膜的制备和性能研究

作者：裴亚芳; 杨传仁; 陈宏伟; 张继华; 冷文健

来源：压电与声光, 2007, (06): 710-712+716.

• PbxSr1-xTiO3陶瓷
• 射频磁控溅射
• Pb0.3Sr0.7TiO3(PST30)薄膜
• 微结构
• 介电性能 PbxSr1-xTiO3 ceramics
• RF magnetron sputtering
• Pb0.3Sr0.7TiO3 thin film
• microstructure
• dielectric properties

研究了Pb的摩尔分数对PbxSr1-xTiO3(x=0.2~0.8)陶瓷微结构和介电性能的影响,当x<0.45时晶体为立方相,x≥0.45时为四方相;随着Pb的摩尔分数增大,陶瓷气孔率下降,致密度增加,晶粒尺寸逐渐增大,居里峰近似线性地向高温方向移动,并具有一致的居里外斯常数。采用射频磁控溅射法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)上制备了Pb0.3Sr0.7TiO3(PST30)薄膜,经550℃退火后为(111)择优取向的多晶薄膜,1 kHz下的可调率为21.8%。

• 单位
  电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室