解读

来源：激光与光电子学进展, 2022, 59(09): 8.

<正>封面解读计衡微纳间，算验万核前。光行精妙路，刻就芯片圆。封底解读封面形象示意了极紫外（EUV）光刻机光源的基本原理：预、主脉冲分别与靶材作用产生极紫外光，后者被收集镜收集，经过光谱纯化传输至光刻系统以曝光晶圆。EUV光源是EUV光刻机中最核心的分系统之一，是下一代大规模工业化量产工艺制程的必备技术。