金属表面粗糙度的激光非接触检测系统

作者：李玉春; 曹丰慧

来源：激光杂志, 2020, 41(08): 35-39.

DOI：10.14016/j.cnki.jgzz.2020.08.035

• 金属
• 表面粗糙度
• 激光
• 非接触
• 检测系统
• 轮廓图

采用非接触检测方法检测金属表面粗糙度,可大大提升检测性能,设计金属表面粗糙度的激光非接触检测系统,通过激光器发出线偏激光,经过干涉箱中准直扩束器、分束器等仪器处理将线偏激光转换成圆偏振光,圆偏振光进入检偏器中,检偏器调整圆偏振光相位,采用光电二极管将光信号转换成电信号,通过前置放大器放大电信号后,采用A/D转换器将放大的电信号转换成数字信号输入到计算机中,计算机处理输入数字信号,获取金属表面轮廓图,从轮廓图得到光条偏距、像素点距离等数值,再依照金属表面粗糙度公式计算粗糙度。经过实验分析发现,该系统检测铜金属表面粗糙度为2.5μm,检测不同类型金属表面粗糙度结果和实际结果相差范围不超过0.1μm,平均能耗和平均时间分别是157.84 J和5.81 ms,检测性能优于对比系统。

• 单位
  大庆师范学院; 机电工程学院