微型薄膜锂离子电池负极材料SnO_x掺杂Cu研究

作者：刘畅; 郭建来; 林杰; 刘琦; 郭航

来源：传感器与微系统, 2013, (05): 21-23+27.

DOI：10.13873/j.1000-97872013.05.012

• 磁控溅射
• 氧化锡薄膜
• 掺杂Cu
• 微型薄膜锂离子电池
• 负极材料 magnetron sputtering
• SnOx thin film
• doped with Cu
• micro thin film Li-ion battery
• negative electrode materials

研究了掺杂Cu的Sn的氧化物薄膜,它可以作为微型薄膜锂电池负极材料。这种薄膜是采用磁控溅射的方式,在硅基底上沉积了SnOx和金属Cu。XRD分析和SEM观察表明:随着金属Cu掺杂量的增加,所制备薄膜由晶态趋向于非晶态,有利于锂离子的嵌入与脱出。恒电流充放电测试表明:随着金属Cu掺杂量的增加,SnOx薄膜放电容量有所增加,循环性能有很大的提高。这种掺杂Cu的SnOx薄膜的制备方法可用于微型薄膜锂离子电池。

• 单位
  厦门大学