集成表面等离子体共振传感芯片

作者：吴斌; 王庆康

来源：微纳电子技术, 2007, 44(9): 885-891.

DOI：10.3969/j.issn.1671-4776.2007.09.009

• 表面等离子体共振
• 传感芯片
• 基本结构
• 制造工艺
• 优化方向

集成表面等离子体共振传感芯片是表面等离子体共振传感技术和微电子集成制造技术结合的产物.介绍了表面等离子体的共振传感的原理和传统器件;重点介绍了集成表面等离子体传感芯片的发展背景、基本结构、制造工艺,并给出了其在金属传感层、整体结构、传感附着膜三个方面的优化方向;对其未来的发展前景进行了展望.

• 单位
  薄膜与微细技术教育部重点实验室; 微米/纳米加工技术国家级重点实验室; 上海交通大学