贵金属Au对半导体金属氧化物气体传感器性能影响研究

作者：于兰伊; 李明; 王秋晨; 王林康

来源：传感器世界, 2023, 29(05): 8-13+19.

DOI：10.16204/j.sw.issn.1006-883X.2023.05.002

• Au
• 气体传感器
• 气敏性能

随着工业时代到来，为国家发展提供便利的同时，大量排放的有毒气体造成的环境污染问题逐渐影响人们的生活。如何快速有效地检测有毒气体的浓度成为一个重要的研究课题。文章主要通过溶胶凝胶法制备气敏材料，制作气体传感器，针对NO2、SO2、NH3等有毒气体，测试其气敏性能。通过实验与数据分析，对比了几种常用的半导体金属气敏材料WO3、SnO2、In2O3的气敏性能，以及向材料中掺杂贵金属Au后的气敏性能，总结归纳了贵金属Au对几种气体传感器常用半导体金属气敏材料气敏性能的影响。研究发现，贵金属Au对提高气体传感器灵敏度和缩短响应恢复时间方面有着较为正面的作用。

• 单位
  长春建筑学院; 吉林建筑大学城建学院