摘要

快速反射镜(Fast Steering Mirror, FSM)具有响应快、精度高、分辨率高等优势,被广泛应用于卫星激光通信、激光武器、自适应光学成像、高精度激光瞄准等领域,是捕获、跟踪和瞄准(Acquisition Tracking and Pointing, ATP)系统中的核心部件。本文介绍了ATP系统的工作原理和快反镜的工作原理,并从驱动方式,快反镜的面型、工作带宽、扫描角度、控制精度、体积重量及功耗等性能指标及在卫星激光通信的应用等方面详细介绍了国内外研究机构的多款快反镜器件,从音圈电机、压电陶瓷和MEMS三种驱动结构上对快反镜进行了分类,并阐述了不同驱动结构快反镜的工作方式及性能差异,分析了影响快反镜在ATP系统中应用的关键参数,展望快反镜在激光通信中的关键技术,指出了高精度、数字化、小型化是快反镜的发展趋势。